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Mikrotechnische Fertigungsverfahren
Beschreibung: Dieses Seminar vermittelt einen theoretischen Überblick über die Fertigungsverfahren und Prozesstechnologien der Mikrosystemtechnik. Dazu gehören z. B. die Fotolithografie, die Dünnschichttechnologie, die Strukturierung durch nasschemisches und trockenes Ätzen, die galvanische Abscheidung von Dickschichten sowie die Messtechnik.
Inhalte:
- Materialien der Mikrosystemtechnik
- Reinraumtechnik
- Fotolithografie
- Beschichtungsverfahren
- Strukturierungsverfahren
- Messverfahren
- Anwendungen
Dauer: 1 Tag
Veranstaltungsort:
Seminarraum im:
Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig
Alte Salzdahlumer Str. 203
38124 Braunschweig
Ansprechpartnerin:
Dr.-Ing. Monika Leester-Schädel
Tel.: +49 531 - 391 9781
E-Mail: m.leester@tu-braunschweig.de