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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

Wendeschneidplatte mit integrierter Verschleiß- und Temperatursensorik

Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST bietet als innovativer FuE-Partner Lösungen in der Oberflächen-technik, die gemeinsam mit Kunden aus Industrie und Forschung erarbeitet werden. Das »Produkt« ist die Oberfläche, die durch Modifizierung, Strukturierung und/oder Beschichtung für Anwendungen primär in den Geschäftsfeldern Maschinenbau, Werkzeuge und Fahrzeugtechnik, Energie und Elektronik, Optik, Life Science und Umwelt sowie Luft- und Raumfahrt optimiert wird. Eine der besonderen Stärken des Instituts besteht darin, aus dem vorhandenen Spektrum an Verfahren die für die jeweilige Aufgabenstellung optimale Kombination auszuwählen.

Verschleißkalotte nach abrasiver Beanspruchung

Kompetenzen

Mikrostrukturierung von Funktionsschichten

  • Photolithographie, Plasma- und Ionenätzung
  • Laserdirektschreiben von Strukturen
  • Mikro-Schattenmasken (Stencil-Masks)
  • Mikrostrukturierte Oberflächen (Lotuseffekt)

Mikrotribologie

  • Tribologische Schichten für Kleinstbauteile und Mikrosysteme
  • Verschleiß- und Korrosionsfeste Hartstoffschichten
  • Anwendungsnahe Charakterisierung auf der Nanometerskala, Nanoscratch
  • Härte und E-Modul Messung an Nano-Schichten

Dünnschichtsensorik zur Messung von

  • Temperatur
  • Verschleiß
  • Position / Abstand
  • Intelligente Schichten: Verschleißfeste Multifunktionsschichten mit integrierten Sensoren
Ranking der Verschleißbeständigkeit verschiedener Schichtsysteme

Beschichtungsanlage (Eigenbau)

Ausstattung

Beschichtungsanlagen

  • ca. 40 Beschichtungsanlagen für Plasma PVD und CVD Prozesse, davon > 10 industrielle Großanlagen
  • Mehrkammer-Reinigungsanlage
  • Galvanik
  • Probenvorbereitungsvorrichtungen (Polieren, Sägen, etc)

Messtechnik

  • Tastschnittgeräte
  • Pin-on-disc Tribometer
  • Flächenverschleißtester (oszillierend)
  • Nano-Verschleißmessung (Hysitron)
  • Bandabrasiv-Verschleißtester
  • Kraft- / Drucksensoren
  • Rastertunnel- und Rasterkraftmikroskop (STM, AFM)
  • Rasterelektronen-Mikroskop (REM, SEM)
  • Röntgenbeugung (XRD)
  • Elektronenstrahl Mikrosonde (EPMA)
  • Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS)
  • Rasterelektronenmikroskop (REM) mit Focused Ion Beam (FIB)
  • Konfokales Laser-Mikroskop (CLM)
  • Nanoindentor
  • Ellipsometrie
  • IR-, UV-Spektroskopie

Reinraumausstattung

  • Industrielle Sputteranlagen
  • Plasmaätzanlage
  • Messtechnik

Gelbraum

  • 2 Maskaligner
  • 3D-Laserdirektschreiber / NdYAG-Laser
  • Belackungseinrichtungen